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我院在中国科技大学在读博士研究生邹艳波获IUMAS-6国际会议Early Career Scholarship奖
发布时间:2014-08-11  浏览次数:

201482-7日,在美国哈特福德市举行的第六届国际微束分析会议暨显微学与显微分析2014年会上,我院在中国科技大学在读博士研究生邹艳波的工作“Model-Based Library for Critical Dimension Metrology by CD-SEM” 被授予“Early Career Scholarship”奖。该工作基于电子固体相互作用物理模型,采用Monte Carlo方法模拟了纳米线宽的CD-SEM二次电子线扫描曲线,用于扫描电镜测量纳米线宽关键尺寸的数据库研发,也为建议相应的国际标准打了基础。她的报告得到半导体业专家的关注与好评。

 IUMAS会议是国际微束分析协会联合会主办的大型系列国际会议,每3-4年举办一次。今年该会议与M&M年会一同举行,有来自全球的2000多位显微学家参加会议,共有1000多个邀请报告和口头报告,以及上百家显微界仪器厂商展览最新的技术和产品。

为鼓励在显微学领域做出出色工作的青年学者和学生,大会设立了Early Career Scholarship奖,根据各微束分析协会的参会论文进行评选,本届共授予来自7个国家的16人,其中我校的邹艳波获该奖。

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邹艳波在颁奖礼上

 

 

 

理论物理自治区重点学科

2014年8月10

 

   


 
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